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为什么检漏仪要用外置标准漏孔标定

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为什么检漏仪要用外置标准漏孔标定

发布日期:2017-09-07 00:00 来源:http://www. 点击:

u 为什么要用外置标定

 O  输入错误的内置漏孔漏率值,检漏仪自检时一般也能通过;说明检漏仪是对比性测试设备,检漏仪本身并不知道检漏信号对应的漏率是多少,必须要有参照物-标注漏孔来确定。

O  任何准不准,检测标准是对标准漏孔读值准不准,无其他标准。

O  任何检漏仪不承诺保证E~2E-12的全量程一致性和精确性。检漏仪内置标准漏孔一般为E-7mbar.L/sec,自检通过,如内置漏孔为5.0E-7mbar.L/sec,并不能保证E-6E-8或其他量级测量的准确性。

O  甚至E-7内置漏孔准确,并不能保证该检漏仪测量E-7量级就是准确的,因为内置漏孔连接检漏仪阀体的接口与检漏仪的捡漏口不是同一接口。一个1.5E-7的内置漏孔,如连接检漏仪阀体的接口存在5E-7的泄漏,自检时输入的漏率因为7.5E-7,但检漏仪仍然认为是1.5E-7;这就导致检漏仪自检通过但整个线性出现偏差和混乱。

O  事实上,经常出现检漏仪自检通过其他量程误差很大,甚至几个量级的都有。我们甚至发现有检漏仪,某几个量级准确了,另几个量级不准的情况,反之亦然。有兴趣的可以观看我们的视频。

O  正确的方法是针对产品的漏率要求,用接近的外置校准漏孔标定检漏仪。

 

u 参考视频1:一台INFICON Modul 1000氦质谱检漏仪,E-7,E-8,E-9三个量程都非常精确,但E-6,E-5都相差30~40倍,线性严重失准(事实上任何品牌的检漏仪并不承诺保证全量程的线性一致性)。如果测量E-5,E-6的工件,必须用外置标准漏孔进行标定修正,这是确保检漏仪测量精确的唯一方法!

 

 

 

 

u 参考视频2:一台Adixen检漏仪,通过自检后在某些量级误差100倍。自检通过,最多只能说明检漏仪正确测量与内置标准漏孔漏率接近的漏率。实际上这个也不一定能保证......某种程度内置自检方便了用户使用,但很大程度带来了不准确性。真正的测量精确需要外置漏孔进行校准和修正。

 

 

 

 

 

 

 

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