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LACO TitanTest T100M(30m^3/h Dry)大抽速移动式氦质谱检漏仪(干式)

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LACO TitanTest T100M(30m^3/h Dry)大抽速移动式氦质谱检漏仪(干式)

发布日期:2018-01-15 00:00 来源:http://www. 点击:

LACO TitanTestTM T100M(30m3 /h Dry)

移动式大抽速高性能(订货号:TITAN100M-30D

         LACO Titan T100(30m3/h Dry) 移动无油干式氦气,配置30m3/h 干式涡旋泵,适合洁净生产环境之严苛需求以及中到大工件的检测,且一般不需要外置辅助真空泵。可以广泛应用于半导体、医疗、科研、实验等需求。 

        通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的合理真空结构, Titan T100(30m3/h Dry)提供的前所未有的泄漏率检测达 < 5x10-12 mbar.L/sec。

 图1:LACO Titan T100M(30m3/h) 大抽速移动式氦质谱检漏仪

一、技术规格

项目描述
可检测气体4He, 3He, H2
最小可检测漏率真空法4He: <5x10-13pa.m3/s(5x10-12mbar.L/s)
3He: <5x10-11pa.m3/s(5x10-10mbar.L/s)
H2: <5x10-9pa.m3/s(5x10-8mbar.L/s)
吸枪法4He, 3He, H2: <x10-9pa.m3/s(5x10-8mbar.L/s)
独立吸枪接口(不占用真空口)
检测模式Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检)
检测方法真空(Vacuum),吸枪(Sniff),自动检测(Auto)
入口法兰KF25
最大入口压力25mbar
分子泵抽速2.5l/s (SplitFlow 80)
前级泵抽速30m3/h涡旋泵
响应时间真空(63% signal):0.3s
吸枪(3m):<1s
自检内置(NIST可跟踪证书),温度系数0.1%/℃,可忽略温度修正
支持Gross, Fine, Ultra三种模式校准,确保测试精度
启动时间≤3min
采样频率20Hz
接口RS232 or RS485, Analog Output, Discrete I/O
工作温度 10℃ ~ 35℃
工作电压115/230 VAC, 50/60 Hz
重量110kg
功耗1000W
尺寸(mm)长726 x437 x1010推车+主机

二、特点(Key Features)

1)业界先进的全量程测量的精确性与一致性(演示视频)

T100提供先进的全量程测量的精确性与一致性。 

性能演示视频1(真空法,Vacuum);LACO Titan T100业界先进的全量程测量的精确性与一致性
(8个标准漏孔,,E-12 ~E-5mbar.L/sec, 8个量级,全量程线性一致性和精确性检测极限测试)

 

性能演示视频2(吸枪法,Sniffer);LACO Titan T100业界先进的全量程测量的精确性与一致性
(一组标准漏孔,,E-8 ~E-5mbar.L/sec, 4个量级,全量程线性一致性和精确性检测极限测试)

2)三种测试模式:Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检)

3)高入口压力:25mbar,快速进入检测

4)自检:T100内置NIST可跟踪证书的标准漏孔,温度补偿仅为0.1%/℃;支持在三种模式下(Gross, Fine, Ultra)自动校准确保每种模式下测量的准确性。

5)长寿命氧化钇涂层铱双离子源灯丝:3年质保 

                                          图2:配套设备-T100一揽子综合解决方案

三、应用领域(Application Scenarios)

◆科学研究:

Electron microscopy – 电子显微镜

Mass spectrometry – 质谱

Surface analysis – 表面分析

Plasma monitoring – 等离子体监测

Residual gas analysis – 残余气体分析

...

半导体

Lithography锂电池

PVD /CVD

Plasma etching等离子刻蚀

MBE 分子束外延

镀膜

Hard disk coating – 硬盘镀膜

Photovoltaics – 光伏

Glass coating (PVD) – 玻璃镀膜

Optical coating (PVD) – 光学镀膜

Wear protection (PVD, CVD) –硬质涂层

Web coating – 卷绕镀膜

◆工业

Medical technology – 医学技术

Industrial leak detection – 工业检漏

Electron beam welding – 电子束焊接

Lamp /tube manufacturing – 灯管制造

Automobile –汽车制造

Aerospace-航天航空

科学研究

Nuclear research – 核研究

Fusion technology – 聚变技术

Plasma research – 等离子研究

Nanotechnology – 纳米技术

Biotechnology – 生物技术

 

四、常用订货号

项目描述订货号
LACO TitanTestTM  T100检漏仪
T100 Wet便携式检漏仪T100便携式检漏仪,油式,45kgTITAN100W
T100 Dry便携式检漏仪
T100便携式检漏仪,无油干式,38kg
TITAN100D
T100M(16m^3/h Wet)移动式检漏仪主机模块+推车+16m^3/h旋片泵,油式检漏仪TITAN100M-16W
T100M(30m^3/h Wet)移动式检漏仪主机模块+推车+30m^3/h旋片泵,油式检漏仪TITAN100M-30W
T100M(15m^3/h Dry)移动式检漏仪主机模块+推车+15m^3/h涡旋泵,无油干式检漏仪检漏仪TITAN100M-15D
T100M(30m^3/h Dry)移动式检漏仪主机模块+推车+30m^3/h涡旋泵,无油干式检漏仪检漏仪TITAN100M-30D
常用配件
有线控制模块(4m有线)Wired Remote Control RC 800, 13 ft (4 m) Cable IncludedTR100
无线控制模块(100m无线)Wireless Remote Control RC 800 WL, Up to 330 ft (100 m)TR101
WIFI发射模块WiFi Adapter for TitanTestTM Communication ModuleTCM-WIFI
通信模块TitanTestTM Communication Module with Data Logging / EthernetTCM50
通信模块(加打印)TitanTestTM Communication Module with Data Logging / EthernetTCM50-PT
二维码扫描枪Barcode Reader for TitanTestTM Communication ModuleTCM-BC
3m吸枪Sniffer Probe - 10 ft (3 m)LSP-01N-10
10m吸枪Sniffer Probe - 33 ft (10 m)LSP-01N-33
3m增强吸枪(清零+显示)Enhanced Sniffer Probe - 10 ft (3 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid TipT2003
10m增强吸枪(清零+显示)Enhanced Sniffer Probe - 33 ft (10 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid TipT2010
喷枪(带620cc气瓶+减压阀)Helium Spray Probe - 10 ft (3 m) Poly tube with Regulator and 620cc ReservoirLHSP07
入口滤芯Inline NW25 Filter Housing with 40 Micron Sintered Bronze ElementLVF-E-NW25-40-10
内置校准漏孔Internal Helium Leak Standard for TitanTestTM, Low 10-7 mbarL/secCM102492
外置校准漏孔-7External Helium Leak Standard, Low 10-7 mbarL/s NW25, Manual ValveCM51L-71111V0/4
外置吸枪校准漏孔-4Sniffer Helium Leak Standard, 5 x 10-4 mbarL/sec, Pressure Gauge, Refill ValveCM515.0-4102DAG/4

相关标签:氦质谱检漏仪,检漏仪,氦气,T100,LACO,雷科,Titan,氦气测漏仪,氦气检漏仪,标准漏孔

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